Ontos TT

電漿清潔 / 表面活化系統

 

產品特色與規格

 

Ontos TT為桌上型機種，佔地空間小

 

2種機型可供選擇，可應用於不同樣品尺寸200mm 與 300mm

 

具備感應式門鎖; 臭氧排氣包含空氣冷卻，使用安全

 

射頻控制器設置於電漿頭的正後方，以確保電漿的穩定性

 

固定式等離子頭，配備局部基板冷卻系統，可使用更高的射頻功率，應用廣泛

 

標準電漿頭寬度為25mm或40mm (100mm開發中)